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陇南塑料挤出机 三峡实验室光刻胶用光引发剂走向市场 芯片制造又一“卡脖子”技术在湖北突破

发布日期:2025-12-24 01:19 点击次数:149
塑料挤出机

湖北日报讯 (记者李墨、李仁玺)12月9日陇南塑料挤出机,湖北兴福电子材料股份有限公司发布公告,以4626.78万元收购湖北三峡实验室重大科技成果“光刻胶用光引发剂制备有技术及实验设备所有权”。这项半导体域“卡脖子”技术走向市场后,将打破该材料长期被境外企业垄断的局面。

湖北三峡实验室科研人员正在从事半导体光刻胶用光引发剂试验。(通讯员 李阳 摄)

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湖北三峡实验室光引发剂项目研发负责人介绍,此次转让的成果G/I线光刻胶用光引发剂的关键技术,主要用于芯片和显示域。

芯片制造需要几百种设备和材料陇南塑料挤出机,其中光刻机和光刻胶是常被提起的“卡脖子”产品。而对光刻胶的感光度和分辨率起决定作用的,就是光引发剂。“目前,在国产芯片和显示域,光刻胶用光引发剂几乎全部依赖美日韩。”该负责人表示。

湖北三峡实验室。(资料图片)

“这是一次市场需求倒逼的研发创新,企业出题,实验室答题。”湖北三峡实验室主任池汝安透露,微电子新材料是三峡实验室的研究方向之一,近年来,许多半导体客户表示,因光引发剂遭遇限购和断供,国产光刻胶多次被“卡脖子”,给国内半导体产业链的生产带来大压力。

主攻芯片蚀刻电子级磷酸、电子级硫酸等产品的兴福电子,希望切入光引发剂产业赛道陇南塑料挤出机,但从0到1的研发风险却成了难题。“一旦研发失败,巨大的投入和时间成本,将令企业难以承受。”兴福电子总工程师贺兆波表示,企业想到了三峡实验室。

兴福电子提出研发需求意向后,三峡实验室当即决定开展光引发剂关键技术的攻关。“面向产业需求做研发,本就是湖北实验室的特和使命。”池汝安说。

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在历经三年研发攻坚后,今年5月,上海一家光刻胶龙头企业回复三峡实验室:“送样各项指标与国外厂商达到同一水平。”随后,中试样品在多家光刻胶企业都通过了初轮验证,相关技术终于具备产业化条件。

池汝安介绍陇南塑料挤出机,该成果已进入产业化前期阶段,投产后将成为湖北一条光刻胶用光引发剂生产线,对我国光刻胶产业发展将起到积作用。

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